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XYθ对位平台

XYθ对位平台 高刚性型

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产品描述

台面尺寸 : 250、350 (mm)
基座尺寸 : 350、450 (mm)

机械作动原理-中央/侧边传动-标准型、高刚性型


★ 超薄型、轻量化平台-采用Mini stage Xyθ模块化结构,实现无中座的薄且轻的机构

★ 透过特殊交叉滚柱轴承施加预压,达高刚性、高精度表现

★ 中空结构设计,可作为光学式检查装置或导通测试器使用

★ 在各运动轨道加入润滑系统,提高对位平台使用的寿命及精度

★ 材料皆经超深冷处理,有效预防变型,大幅提升使用寿命,质量及效能

★ 实行三次元全检,保证滑台出厂精度与质量

 

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