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UVW对位平台

UVW 电磁式 气压式 特殊自动对位平台

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产品描述

  1. 产品特性

  采用了划时代性模块结构的超薄型平台

  在基座、工作台之间的四端平面装上组合了​XYθ轴滑台组和特殊交叉滚柱轴承的模块之独特性,实现了超薄型结构。

  高刚性、高精度

  对于构成模块的 XYθ轴滑台组的特殊交叉滚柱施加了预压,达到高精度、高刚性的结构。

  超薄型、轻量化、中空结构

  采用XYθ模块化结构,实现了无中座、薄而轻的机构,可作为光学式检查装置或导通测试时使用。

  润滑系统

  在各种运动轨道加入润滑系统,确保润滑脂补充,提高对位平台使用的寿命及精度。

  尺寸齐全适用各种机型运用

  工作台面尺寸口100mm~口1500mm,为了可以对应更大的精度荷载,可藉由增加从动模块之数量来达成。

  2. 产品应用

  面板贴合机

  面板贴膜机

  网版及3D网版印刷

  玻璃侧角及磨边设备

  Wafe对位设备

  P.C.D曝光设备

  软体裁切设备

  半导体设备

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